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    MEMS公共技术平台由无锡微纳产业发展有限公司、中国物联网研究发展中心、无锡华润上华半导体有限公司、中科院上海微系统与信息技术研究所、中科院微电子研究所等多家单位共同建设。 平台以核心技术突破、产业集聚、人才集聚、支撑物联网产业发展及应用示范为目标,将分别建设MEMS设计服务子平台、MEMS工艺试验线、MEMS测试服务子平台。

    MEMS设计与制造公共技术平台从完善MEMS传感器产业链的角度出发,依托华润上华十余年半导体经验和规模制造能力,通过物联网研究发展中心的桥梁纽带作用,建设国内首条与CMOS工艺线和MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台,在无锡形成国内首个具备设计、加工和测试服务能力的较为完备的MEMS公共技术平台,在传感网国际创新园集聚一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。


组织与团队

MEMS公共技术平台现有员工50余人,研究员3人,副高级12人;博士11人,海归3人。


领军人物:

欧文-智能传感器工程中心主任


现任智能集成传感器工程中主任,负责MEMS设计服务平台建设和封装测试平台建设。曾任中科院微电子所硅器件与集成电路研究室副研究员,研究员,华润上华微电子研发工程师,项目经理。负责国家973项目“非挥发性存储器与逻辑电路兼容关键工艺技术研究”,“九五”攻关项目“0.35um 集成电路关键技术研究”和“0.1um级CMOS器件和性能研究”等重大国家级项目的研究工作。


颜苑-智能传感器工程中心副主任


华美信息存储协会副会长、2011年美国硅谷高创会秘书长。曾任职于英特尔、希捷、日立和中芯国际等公司。在半导体、数据存储、MRAM、传感器以及MEMS领域拥有超过15年的专业经验,包括先进的光刻技术,新工艺与技术开发、集成,材料特性及质量验证等。拥有丰富的团队领导经验,具备项目和人员管理,客户与供应商衔接以及处理各种复杂问题的能力。

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