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    MEMS公共技术平台致力于突破制约物联网产业发展的智能传感器关键技术,垂直整合MEMS传感器产品科研、生产链,为科研院所、企业提供MEMS传感器产品的研发、生产服务。
 

产业服务内容:

1、真空封装
2、MEMS器件设计与仿真
3、MEMS+ASIC协同设计
4、CMOS MEMS工艺整合
5、典型MEMS传感器产品晶圆级和产品级测试服务
6、可靠性试验及可靠性分析服务

 

技术研发:

    MEMS 传感器新原理、新结构、新工艺研究、微弱信号处理技术研究、智能化预处理电路设计技术研究、多传感器数据融合技术研究、传感器应用模块技术研发,并通过向企业转移科研成果为企业产品技术更新换代提供技术支撑和服务。争取国家、地方项目或承接企业委托研发项目,通过技术研发来提升产业服务能力。

 

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