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设备名称:排气台 ZK10

价格(不含税):¥元/小时
含税价格:¥0元/小时
开机费用:¥元
*注:若价格为0表示该设备暂不可被租用
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设备介绍

ZK10可用于器件密封后的烘烤排气工艺。

特点特色

系统整体漏率优于3×10-9Pa•m3/s。
设备一次工作可实现10支器件排气。
烘箱加热采用器件、手阀及主腔整体加热,最高加热温度200℃,由室温加热到150℃时间小于2小时。
抽气系统由干泵负责系统的低真空预抽及分子泵前级排气。

 

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