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设备名称:氦质谱检漏仪VSMD302

价格(不含税):¥0元/小时
含税价格:¥0元/小时
开机费用:¥0元
*注:若价格为0表示该设备暂不可被租用
点住鼠标左键左右拖动图片可多角度浏览该设备

 

设备介绍

He质谱检漏仪VSMD302可用于器件的气密性封装检漏。

特点特色

采用无油前级泵外置式,可移动推车形式。
最小可检测漏率(1000ppm氦气背景):5×10-12atm·cc/s。
测试口最大耐压≥10mbar,抽速≥1.3l/s。
软件功能实时显示工艺数据,并能对检漏仪参数进行设定。

 

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