2016年2月底， MEMS公共技术服务平台独立研发的金属管壳真空封装全套工艺完成了客户验证,结果表明该套工艺技术完全满足客户的真空封装要求,MEMS公共技术服务平台正式提供金属管壳真空封装全套工艺小批量对外加工服务。
金属真空封装成品
样品测试的响应率直方图
2016年2月底， MEMS公共技术服务平台独立研发的金属管壳真空封装全套工艺完成了客户验证,结果表明该套工艺技术完全满足客户的真空封装要求,MEMS公共技术服务平台正式提供金属管壳真空封装全套工艺小批量对外加工服务。
金属真空封装成品
样品测试的响应率直方图
