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2.MEMS公共技术服务平台简介
    MEMS公共技术服务平台,依托华润上华十余年半导体经验和规模制造能力,通过发展中心的桥梁纽带作用,建成国内首条与CMOS工艺线和MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台。作为国内首个集MEMS设计、加工和测试服务能力于一体的公共技术平台,目前在传感网国际创新园已经集聚一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。平台可对外提供MEMS设计、封装以及测试各项服务。
3. 服务更新
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